Quarzglas-Produkte

Quarzglas für RTP (Rapid Thermal Processing)

semiQuarz produziert Quarzglaskomponenten für Anwendungen in Halbleiterprozessen wie RTP (Rapid Thermal Processing).

RTP dient zur Ausheilung der Kristallstruktur des Wafers. Durch dieses Verfahren werden Kristallgitterfehler im behandelten Wafer reduziert und somit die elektrischen Eigenschaften verbessert. Um dies zu erreichen, wird der Wafer 10–20 Sekunden auf Temperaturen um 1000 °C gebracht. Quarzglasprodukte von semiQuarz haben optimale thermische Eigenschaften für diesen Prozess

Wir fertigen und reparieren Quarzglasprodukte der folgenden Anlagenhersteller:

  • Aixtron
  • AMAT
  • Mattson Technology
  • Mattson Thermal Products
Quarzglas für RTP (Rapid Thermal Processing)