Quarzglas-Produkte

Quarzglas für Ofentechnik

semiQuarz stellt Quarzglasbauteile für die CVD-/Diffusionsofentechnik her, mit welcher unterschiedliche Substrate auf der Waferoberfläche abgeschieden werden. Folgende Quarzglasprodukte bieten wir an:

  • Adapterplatten
  • Ampullen
  • Baffle
  • Balloon
  • Boote
  • Cap Covers
  • Caps
  • Carrier
  • CVD Rohre
  • Doors
  • Dust Covers
  • Exhaust / Inlet Tubes
  • Exhaust Ring
  • Fin Pedestal
  • Heat Shield
  • Halterboote
  • Injektoren
  • Joints
  • Liner
  • Manifold Cover
  • Nozzle
  • Paddle
  • Pedestal
  • Plate Holder
  • Prozessrohre
  • Ring-Boote
  • Shutter
  • Sleeve
  • Substrathalterplatten
  • Suspension Ring
  • TC-Sheath
  • Torch Chamber
  • Rohr-Pedestal

Wir fertigen und reparieren Quarzglasprodukte der folgenden Anlagenhersteller:

  • ASM
  • ATV
  • AVIZA
  • Centrotherm
  • Kokusai (BTU, BTI)
  • Koyo Lindberg
  • SEMCO
  • TEMPRESS
  • Thermco
  • TEL
Quarzglas für Ofentechnik