Quarzglas-Produkte

Quarzglas für Epitaxie

Wir produzieren Prozesskammern, Wafer-Handling-Teile, TC Sheats und alle im Inneren der Kammer verwendeten Quarzbauteile.

  • Process Chamber ATM/ RP 6“ – 12“
  • Susceptor Ring Support
  • Susceptor Support (Spider)
  • TC-Sheath
  • Pin
  • Lifter Susceptor Ring
  • Shaft
  • Beljar
  • Lower Dome
  • Upper Dome
  • Wafer Lift

Seit August 2005 sind wir von ASM America Inc. als Lieferant für Quarzglasprodukte Epitaxie 150 mm & 200 mm und seit dem Jahr 2008 auch für alle Quarzglasteile Epitaxie 300 mm qualifiziert.

Schon seit mehreren Jahren bieten wir unseren Kunden einen Reparatur- bzw. Überarbeitungsservice für ASM-Produkte an. Mehr als 1000 Process Chamber (150 mm / 200 mm / 300 mm) wurden bisher in unserem Haus zur vollsten Kundenzufriedenheit überarbeitet.

Alle wichtigen Informationen über Quarzkammern, die wir repariert oder überarbeitet haben, werden in einer Datenbank archiviert und sind bei Bedarf für Sie abrufbar.

Wir fertigen und reparieren Quarzglasprodukte der folgenden Anlagenhersteller:

  • ASM
  • LPE
  • AMAT
Quarzglas für Epitaxie