Produkte aus Quarzglas

Der Schwerpunkt unserer Fertigung liegt in der Herstellung von Produkten aus Quarzglas für die Halbleiter- und die Solarindustrie.

Wir werden bei den weltweit führenden Halbleiter- und Anlagen-Herstellern als qualifizierter Lieferant von Quarzglas geführt. Wir fertigen aber auch Quarzglasprodukte für Anwendungen in der Chemie- und Pharmaindustrie sowie für die Medizin-, Luft und Raumfahrtfahrttechnik.

Sollten wir Ihr Interesse geweckt haben, nehmen Sie bitte Kontakt zu uns auf. Wir erstellen Ihnen gern ein Angebot und stehen bei technischen Fragen zum Thema Quarzglas mit Lösungen zur Verfügung.

für Epitaxie

für Epitaxie

Wir produzieren Prozesskammern, Wafer-Handling-Teile, TC Sheats und alle im Inneren der Kammer verwendeten Quarzbauteile.

für Ofentechnik

für Ofentechnik

semiQuarz stellt aus Quarzglas Bauteile für die CVD-/Diffusionsofentechnik her, mit welcher unterschiedliche Substrate auf der Waferoberfläche abgeschieden werden.

für RTP

für RTP

semiQuarz produziert Komponenten aus Quarzglas für Anwendungen in Halbleiterprozessen wie RTP (Rapid Thermal Processing).

für Wet-Clean

für Wet-Clean

Quarz ist ein optimaler Werkstoff für die Herstellung von Produkten für die Nassreinigung, wie Becken und Vorlagetanks, aber auch Wafer-Transportbehälter (Carrier) und Durchflussheizer.

für Dry-Etch

für Dry-Etch

Wir fertigen und reparieren Quarzglas-Produkte für Trockenätzverfahren, das Dry-Etch-Verfahren.