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Informationen zu Quarzglas

semiQuarz ist einer der weltweit führenden
Hersteller von
Quarzglasprodukten
für die Halbleiter- und Solarindustrie.

Individuelle Lösungen aus Quarzglas

Unsere Quarzglas-Produkte werden unter anderem in folgenden Fertigungsbereichen eingesetzt:

Epitaxie:

Prozesskammern, Wafer-Handling-Teile, TC Sheats und alle im Inneren der Kammer verwendeten Quarzbauteile.

CVD-/Diffusionsofentechnik:

Vertikal und Horizontal, Prozessrohre, Liner, Boote, Pedestal, Wafer-Handling-Teile und Injektoren.

RTP (Rapid Thermal Processing):

Prozesskammern, WaferHandling-Teile, Trägersysteme, GDP`s und alle weiteren anwenderspezifischen Quarzbauteile.

Nassreinigung (Wet-Clean):

Becken und Vorlagetanks, Wafer-Transport-Behälter (Carrier), Durchflussheizer, Spezialanfertigungen und Sonderteile.

Trockenätzung (Dry-Etch):

Shadow Ring, Focus Ring, Shield Ring, Ring Pedestal, End Cap, Endpoint Window, Insert, Insulator, Insulating Pipe

Quarzglasprodukte – Individuelle Lösungen aus Quarzglas

Quarz ist ein unverzichtbarer Rohstoff

Aufgrund seiner einzigartigen Eigenschaften ist es ein wichtiger Werkstoff für viele Prozesse in der Chemie- und Pharmaindustrie sowie in der Medizin-, Luft- und Raumfahrtfahrttechnik.

Einige Merkmale von Quarzglas:

  • Quarzglas ist temperatur- und temperaturwechselbeständig
  • es besitzt eine hohe chemische Reinheit
  • Quarzglas ist korrosionsbeständig
  • es hat eine herausragende optische Transmission
  • Quarzglas ist optimal geeignet für den Einsatz bei Anwendungen mit hohen Temperaturen
  • Quarz reagiert nur mit wenigen Chemikalien (geeignet für Gefäße mit Chemikalien)

Bearbeitungstechniken von Quarzglas

Quarzglas-Laserschneiden

In drei CNC-Laserschneidzentren gravieren, schneiden und bearbeiten wir nach Ihren Wünschen und aktuellen CAD-Datensätzen ihr individuelles Quarzglasprodukt.

Quarzglas-Kaltbearbeitung

Wir fertigen Fräs- und Schleifteile aus Quarzglas und bearbeiten Quarzglasplatten auf unseren Poliermaschinen.

Quarzglas-Heißbearbeitung

Wir fertigen in unserer Heißbearbeitung Quarzglasprodukte unter Sauberraumbedingungen.

Quarzglas-Reparaturen, Überarbeitung & Umbau

Wir warten und reparieren Ihre Quarzglas-Produkte, welche Sie geprüft und vermessen zurück erhalten.

Quarzglas-Reinigung

Wir reinigen unsere Quarz-Produkte in unserem Reinraum (Reinraumklasse 1000) auf Kundenwunsch „ready to use“.

Quarzglas-Vermessung

Wir prüfen Ihre Quarzglas-Bauteile gemäß Ihren Anforderungen: Von der einfachen Längenprüfung mittels Messschieber bis zur Vermessung komplexer Quarzglas-Bauteile an einer unserer 3-D-Koordinatenmessmaschinen.

Quarzglas-Produktentwicklung

Sie benötigen ein Produkt aus Quarzglas, das aus dem Rahmen fällt? Wir fertigen Ihr Quarzglasprodukt individuell für Sie, als Einzelteil oder auch in Serie.


Qualität

Qualität in allen Bereichen der Quarzglas-Produktion ist unser Erfolgsfaktor – seit 2000 auch DIN EN ISO 9001:2000 und 14001 zertifiziert.

Unsere Dienstleistungen beinhalten u.a. Erstmusterprüfungen von Quarzglas bei Serienfertigung und Vermessung auf unseren 3D-Messmaschinen

» mehr

Qualität von Quarzglas-Produkten

Kontakt zu Ihrem Quarzglas-Produzent

semiQuarz GmbH

Informationen zu Quarzglas und Quarzglas-Produkten
unter quarzglas@semiquarz.de
Telefon +49 (0) 81 66 / 99 190 - 0

Bürgermeister-Neumeyr-Straße 3a
D-85391 Allershausen
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